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净化车间工程

无尘净化车间中的温湿度控制要求

作者:净化车间工程设计    发布时间:1970-01-01 08:00     浏览次数 :


 。 。 。无尘净化车间的温度和湿度主要根据产品要求的生产工艺来确定,在满足产品工艺要求的同时应考虑工人的舒适性。随着无尘净化车间空气洁净度水平的提高,各工序对温度和湿度的要求越来越严格。  。 。 。一般来说,产品的加工精度越高,对温湿度波动的要求就越高,温湿度波动的范围就越小。例如,在一些大规模集成电路的光刻曝光过程中,直接只有一百微米的材料。如果环境温度与要求相差1度,会造成物料偏差几微米,在这个精度要求很高的无尘净化车间,这是一个非常严重的生产事故。因此,这个过程甚至需要保持正负0.5摄氏度的温差。  。 。 。此外,一些高精度产品对湿度有严格的要求。在一些电子元件的生产中,空气的湿度会直接影响芯片的质量。在大多数硅产品中,无尘净化车间的湿度范围严格控制在30-45%之间。  。 。 。无尘车间防火的八项注意事项

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