热门词条:净化工程|无尘车间|净化车间|洁净车间|无尘室|洁净室|无菌室|无菌车间设计施工
净化车间一站式制造供应商
设计定制、生产加工、整机装配、设备接线
客户咨询服务热线:
13222622258
净化车间工程

净化车间相对湿度控制不好会怎样

作者:洁净净化车间工洁    发布时间:2020-07-31 09:10     浏览次数 :


如果净化车间的相对湿度控制不好,可能会使净化车间的整体性能下降,还会带来以下一系列的影响。

如果净化车间的相对湿度控制不好,可能会使净化车间的整体性能下降,还会带来以下一系列影响。

1.细菌生长。细菌和其他生物污染(霉菌、病毒、真菌、螨虫)可以在相对湿度超过60%的环境中积极繁殖。当相对湿度超过30%时,一些植物可以生长。当相对湿度在40%和60%之间时,细菌和呼吸道感染的影响可以最小化。因此,无尘车间的相对湿度需要控制在一定范围内。

2.相对湿度控制不好很容易导致无尘车间的金属腐蚀。包括腐蚀在内的许多化学反应的速度会随着相对湿度的增加而增加。净化车间周围暴露在空气中的所有表面都迅速覆盖上至少一层水。当这些表面由能与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度会加速反应。一些金属,如铝,可以与水形成保护性氧化物,防止进一步的氧化反应;另一种金属,如氧化铜,没有保护能力。在高湿度环境下,铜表面更容易腐蚀。

3.如果净化车间的相对湿度控制不好,就会出现静电。当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散,但当相对湿度低于30%时,静电荷会在绝缘体或不接地表面上持续很长时间。东莞无尘车间的相对湿度在35%到40%之间,这是一个令人满意的折衷方案。半导体无尘车间通常使用额外的控制装置来限制静电荷的积累。

4,吸水性。相对湿度控制不好对净化车间的吸水量有一定的影响。

5.水蒸气凝结。在相对湿度较高的净化车间,浓水的毛细作用力在颗粒与表面之间形成一种结合,可以增加颗粒与硅表面之间的附着力。这种效应称为开尔文浓度,即当相对湿度小于50%时,这并不重要,但当相对湿度约为70%时,它就成为颗粒间粘附的主要力量。

6.净化车间的湿度在40%到60%之间,这也是一个让人感到舒适的适中范围。如果净化车间的湿度过高,人们会感到气闷,而如果湿度低于30%,人们会感到干燥、皮肤皲裂、呼吸不适和情绪不愉快,从而影响工作。

7.净化车间光刻的退化。在半导体无尘车间,最迫切需要适度控制的是光刻胶的灵敏度。由于光刻胶对相对湿度极其敏感,因此对相对湿度的控制范围有最严格的要求。相对湿度和温度对于光刻胶的稳定性和精确的尺寸控制至关重要。即使在恒温条件下,光致抗蚀剂的粘度也会随着相对湿度的增加而迅速降低。当然,改变粘度将改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。

此外,在净化车间的高相对湿度环境中,由于水分的吸收,烘烤循环后光刻胶的膨胀加剧。较高的相对湿度也会对光致抗蚀剂的粘合力产生负面影响。较低的相对湿度(约30%)使附着光致抗蚀剂更容易,即使没有聚合改性剂,如六甲基二硅氮烷。

[返回]   
下一篇:没有了